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基于Parylene MEMS高精度柔性触力传感系统
现有机器人（尤其是手术机器人）急需一种高空间分辨率的柔性触力传感系统来解决机器人在力反馈系统方面的功能不足（如手术机器人希望能通过触力反馈精确定位肿瘤位置）。
本项目将开展基于Parylene的柔性电子微纳加工、集成封装方法研究，开发基于Parylene MEMS的柔性触力传感阵列技术。本项目通过突破柔性化硅结构的设计、加工、混合集成方法，多物理量传感阵列的设计与制备等关键问题，建立柔性三维微纳结构制备新方法，实现硅基压阻式触力传感阵列。本项目以硅基器件单元实现传感功能，以Parylene微结构实现柔性化，建立一种新型的高性能柔性电子实现方案，研发出高性能柔性触力传感阵列系统，为手术机器人功能提升与柔性电子发展提供重要的技术支撑。
除了医疗健康领域，柔性触力传感系统可应用的领域还包括运动行业、可穿戴机械设备、人造皮肤等等。如将柔性压力传感器内置在鞋子中，可以实时检测体重、发力姿势、身体平衡性等；可穿戴设备中的柔性传感器可以感知人的动作和用力情况，协助佩戴者提起重物、快速走动等；集成了柔性触力传感器的人造皮肤，可以用于义肢上，感知佩戴者的动作意图并协助其完成想要的动作。
典型 Parylene 柔性微电极阵列器件
