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集成电容式压力传感器
目前国内压力传感器公司仅可提供中低端MEMS传感器产品，且主要以进口压力芯片和专用集成电路散件组装为主，少部分具有半导体加工能力公司以自产压力芯片替换国外进口芯片，但是专用集成电路部分还是以国外产品为主。目前仅智能手机市场中国每年5亿部手机所用压力传感器基本上均为进口品牌，造成生产成本居高不下和外汇的大量流失，而智能手机市场仅约占压力传感器市场的20%左右。
本项目采用表面微机械工艺，具有低功耗、高精度、低漂移等特点。本项目突破低功耗、高精度电容传感器，24位AD高分辨率和MEMS-IC工艺兼容等关键技术。
集成电容式压力传感器是3C信息系统的核心部件，目前国内没有其他类似的系统产品，国外也没有成熟的产品，项目的研发将填补国内外的空白。项目产品可广泛应用于手机、平板、运动手表、手环等可穿戴设备、智能终端产品，及汽车、医疗、保健、无人机等。
