博士,北京大学微电子学研究院教授,“微米纳米加工技术国家级重点实验室”学术委员会副主任。
1992年毕业于北京大学微电子专业,1997年在北京大学获微电子学与固体电子学博士学位,同年留校工作。2000年到2004年在美国加州大学戴维斯分校和美国康奈尔大学做访问学者。2004年7月返回北大至今,继续从事科研和教学工作。
研究兴趣:微机电系统、可穿戴器件。
科研或企业项目经历:多年来一直从事MEMS/NEMS理论、设计和加工方面的研究,在生物微机电(BioMEMS)和微纳流控系统(Micro/Nanofluidics)取得突出研究成果。作为项目负责人主持国家“863”、国家自然科学基金、国防预研等科研项目10项,在Materials Science and Engineering R, Nano Letters, ACS Nano, Analytical Chemistry, Lab on a Chip, JMEMS等本领域高水平学术期刊和IEEE MEMS、Transducers、MicroTAS等MEMS领域顶级国际学术会议上发表论文200余篇,其中SCI文章近100篇,做国际会议邀请报告10余次,申请和授权专利24项(授权16项),为5本书籍撰写章节。担任自然科学基金重大研究计划“纳米制造的基础研究”指导组专家,担任IEEE MEMS、Transducers和IEEE Sensors程序委员会委员。
因研究方向高度交叉性,欢迎微电子、电子工程、生物医学工程、材料、物理等相关专业学生;具有微电子器件、半导体器件经验,或具有扎实的物理、电子学基础的学生优先考虑。