◆微纳电子工程联合实验室
依托单位：北京大学微米纳米加工技术国家重点实验室
主要方向：数值微米纳米技术、微纳器件研制及应用
◆微纳电子实验室
研究柔性材料、器件及系统、MEMS传感技术及其他传感技术
◆光电子集成实验室
研究硅基光电子半导体技术
